メニュー

What's New

2021年

千葉工場で最先端フォトレジスト向け光酸発生剤の生産能力を増強

2021年08月30日

 ADEKAはこの度、EUV(極端紫外線)をはじめとする半導体の先端リソグラフィ工程で使用される光酸発生剤の生産能力を増強することを決定しましたのでお知らせいたします。

 5G通信の普及とテレワークなどのライフスタイルの変化に伴い、半導体需要が活況であることを背景に、当社の光酸発生剤「アデカアークルズ」シリーズの販売が好調に推移しています。当製品は、微細なパターニング形成とppb(10億分の1)レベルの低メタル管理を特長とし、世界トップクラスの性能を有しています。
 今後、半導体の微細化進展に伴い、最先端リソグラフィ技術であるEUV露光の拡大が予想されており、従来のリソグラフィ向け光酸発生剤の技術革新が必要とされています。本投資ではEUV向け製品の提供を加速するべく、従来では対応することが難しい1ppb未満の低メタル管理を実現する最新の設備を導入します。また、導入を決定した生産設備では、微細化進展に伴い新たに必要となる半導体周辺材料の生産も計画しています。

 ADEKAは先端の半導体材料の提供を通じて、ICT社会の実現に貢献してまいります。

生産能力増強の概要

       

所在地

ADEKA 千葉工場(千葉県袖ケ浦市北袖3-1)

投資金額

27億円

延床面積

1,698平方メートル
(2020年度時点:280平方メートル)

能力増強

従来比2倍以上

スケジュール

着工:2022年3月予定
営業運転開始:2023年度中予定

CONTACT

ADEKAに関するお問い合わせは、
フォームまたは電話・FAXにて承ります。

ページトップへ