レジスト現像槽・剥離槽洗浄剤
ドライフィルムレジスト現像槽・剥離槽やソルダーレジスト現像槽のフォトリソ工程装置内(スプレーノズル、搬送ローラー、槽壁等)に固着した汚れをスプレーするだけで簡単に除去が可能です。
DFR現像槽：アデカテック ND-431
DFR剥離槽：アデカテック ND-420
想定用途
DFR現像槽洗浄、DFR剥離槽洗浄
特長
- 溶剤成分の浸透力によりスカムを分散、可溶化
- 有機酸により無機塩の中和とスカムの凝集を防止
- 塩ビなどの装置にダメージを与えない
- 他社品の3倍以上の溶解力があり、溶解量まで繰り返し使用可能(ND-431)
PSR現像槽：アデカテック ND-450SR
想定用途
PSR現像槽洗浄
特長
- 溶剤成分の浸透力によりスカムを膨潤
- 後処理にHCl洗浄を行うことで更に洗浄効果が促進
