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化学品

情報・電子化学品

半導体材料

高純度エッチングガス

製品名 用途 化学式 純度(%) 沸点(℃)
アデカ高純度
液化塩素
エッチングガス Cl2 99.999以上 -34.1
アデカ高純度
液化臭化水素
エッチングガス HBr 99.999以上 -66.7
アデカ高純度
三塩化ホウ素
エッチングガス BCl3 99.9999以上 12.5

ALD/CVD材料

製品性状リスト

製品名 用途 化学式 純度(%) 沸点(℃)
アデカスーパーTEOS 層間絶縁膜 Si(OC2H5)4 99.999995以上 166
アデカ高純度TMOP ドーパント PO(OCH3)3 99.999995以上 197
アデカ高純度TEOP ドーパント PO(OC2H5)3 99.999995以上 215
アデカ高純度TMB ドーパント B(OCH3)3 99.999995以上 69
アデカ高純度TEB ドーパント B(OC2H5)3 99.999995以上 118
品名 用途 化学式 蒸気圧
TMA High-k Al(CH3)3 16Torr / 25℃
TDMAH High-k Hf[N(CH3)2]4 10Torr / 86℃
TEMAZ High-k Zr[N(C2H5)(CH3)]4 1Torr / 90℃
OMCTS Low-k [OSi(CH3)2 ]4 40Torr / 90℃
TMCTS Low-k [OSiH(CH3) ]4 7Torr / 20℃
TDMAS SiO2/SiN HSi[N(CH3)2]3 25Torr /50℃

半導体用銅めっき液

分類名 特徴
ベース液 (VMS) 高純度硫酸銅系ベース液
添加剤 促進剤 オリジナル組成により高電流密度が選択可能
添加剤 抑制剤 ADEKA保有の多様な活性剤を利用
添加剤 平滑剤 高アスペクト比のTSVめっきを実現

品質保証体制

工場

高純度半導体製品の品質保証機能を高めるために、2003年に鹿島工場に分析・品質管理のための専用施設を建設しました。次世代半導体に要求される高精度の分析が、製造と一体で管理され、お客様へのスピード対応を図っています。
国際的な品質マネジメントであるISO9001、環境マネジメントシステムであるISO14001の認証を早期に取得しています。

分析・品質管理棟

分析・品質管理棟

ISO9001、ISO14001、OHSAS認定証

ISO9001、ISO14001、OHSAS認定証

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フォームまたは電話・FAXにて承ります。

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